1. 장비설명

뇌의 인지 능력 파악 및 행동 제어 연구를 위한 뇌에 삽입 가능한 전극과 더불어 광학소자 제조 시, 전극의 정확한 신호 전달 및 측정을 기대하기 위해서는 설계와 동일한 규격의 제작과 전극을 구성하는 물질의 안정성이 필요하다. 본 장비는 열적 증착을 통해 전극을 포함하는 소자를 구성하는 금속 및 유기 물질의 증착이 가능하게 하며, 반응성이 낮은 기체로 구성된 환경을 제공하여 물질의 안정성 및 외부 환경으로부터 오염 물질 유입 차단을 구현하게 한다.

2. 구성 및 성능

• Thermal Evaporation system
    - Main Chamber
    - 재질 : sus304
    - type :원형 Chamber Type
    - vacuum pressure : 5x10-6torr
    - chamber wall : electrical polishing
• 1.5인용 Glove Box System

3. 비품번호

• 7-2016-0586-1 / 김태일